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Möglichkeiten weiterzuentwickeln um technische Funktionsflächen mit höchster Genauigkeit herzustellen und messtechnisch zu charakterisieren ist das Ziel des Kompetenzzentrums "Ultrapräzise Oberflächenbearbeitung", kurz UPOB. Daher haben sich Großbetriebe, Hochschulinstitute und außeruniversitäre Forschungsinstitute auf diesem Gebiet zusammengeschlossen um ihre wissenschaftlichen und technischen Kompetenzen zu bündeln.
Speziell in der Optik und Feinmechanik sind Bearbeitungsverfahren für beliebig geformte Oberflächen, Polierfehlerkorrekturverfahren und Optikbeschichtungstechniken, sowie Geräteentwicklungen für die Lithographie von Strukturen kleiner einhundert Nanometer und die online-Überwachung bei der Ultrapräzisionsbearbeitung von hoher industrieller Bedeutung. Der Einsatz ultraglatter Linsen in Photolithographie-Belichtungssystemen und auch die Erweiterung der Optiken-Palette zu anderen Wellenlängenfenstern wie z. B. den Röntgenbereich oder eventuell auch ins Infrarote, wird ebenfalls als ein wichtiges Themenfeld angesehen. Ein wichtiges Anwendungsbeispiel ist hier die Projektions-Röntgenlithographie.

Die Ultrapräzisionstechnik beinhaltet alle Bearbeitungsverfahren, bei denen Körper und Oberflächen mit makroskopischen Abmessungen extrem präzise in Form und Glätte hergestellt werden. Je präziser geglättet und geformt Oberflächen sind, desto bessere optische Eigenschaften weisen sie auf. Dabei muss jedoch die Bearbeitung von verschiedensten Materialien erforscht werden, da das Spektrum der optisch nutzbaren Wellenlängen sehr breit ist. Neben immer glatter und formgenauer herzustellenden Linsen für den sichtbaren Bereich werden zunehmend Optiken für den Infrarot- und auch den UV- und Röntgenbereich gefordert. Hierzu ist eine zunehmende Perfektionierung der Polierkunst aus einer Kombination konventioneller und total neuer Produktionsverfahren notwendig. Marktperspektiven ergeben sich daher sowohl für Hersteller von Bearbeitungsmaschinen als auch von optischen Komponenten und Substraten.
Die Arbeitsgebiete innerhalb des Kompetenzzentrums UPOB unterscheiden sich nach ihren Methoden deutlich. Entsprechend ist der Kommunikationsbedarf zwischen verwandten Technologien am höchsten, dem durch eine Strukturierung des Kompetenzzentrums in vier Kernbereiche Rechnung getragen wird. Diese Bereiche sollen die Kommunikation erleichtern und bereits gewachsene Strukturen in das Kompetenzzentrum einbeziehen. Bei den vier Kernbereichen handelt es sich um den Bereich der mechanisch/chemischen Bearbeitungsverfahren, der Ionenstrahl- und Plasmabearbeitunsgsverfahren, der optischen Bearbeitungsverfahren und verwandter Gebiete sowie der Charakterisierung von Oberflächen. Mit diesen vier Kernkompetenzbereichen sind darüber hinaus eng verbunden die ergänzenden Bereiche der optischen und röntgenoptischen Schichten, der Bereich hochgenauer dreidimensionaler Strukturierungen sowie der Bereich der Nanopositions- und Messsysteme.

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