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Universität Hannover - Institut für Mikroproduktionstechnik IMPT

Telefon: (0511) 762-5104
Fax: (0511) 762-2867
Kontaktperson: Prof. Dr.-Ing. Lutz Rissing
Kontakt: imt@imt.uni-hannover.de
An der Universität 2
30823
Garbsen
Beschreibung:

Institut für Mikroproduktionstechnik IMPT

Für die Entwicklung und Fertigung von Dünnfilmbauteilen stehen dem Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) die notwendigen Fertigungsprozesse und -anlagen, wie Beschichtungs-, Ätz- und Lithografieeinrichtungen zur Verfügung. Ein weiterer Schwerpunkt ist der Bereich der Ultrapräzisionsbearbeitung, wo sowohl die Substratstrukturierung als auch Prozesse zur Herstellung ultrapräziser Oberflächen mittels mechanischer und chemisch-mechanischer Verfahren untersucht und weiterentwickelt werden.

Abbildung: Mikronadeln aus AL2O3-TiC-Keramik mittels Profilschleifen und Glaslöten hergestellt


Als Substratmaterialien werden am IMPT Si, SiC, Al2O3-Keramik, AlTiC und Glas verwendet, welche je nach Anforderung getrennt, profiliert oder planarisiert werden müssen. Im Fokus der Arbeiten auf dem Gebiet der mechanischen Strukturierung stehen Profilgenauigkeit, Kanten- und Seitenqualität. Bei der Bearbeitung ultrapräziser Oberflächen ist von großer Bedeutung ein hohes Maß an Planarität des Substrats bzw. der aufgebrachten Werkstoffkombinationen wie z.B. Polymer und Metall zu erzielen.

Abbildung: Lineare Mikrokugelführung


Durch die entwickelten Polierverfahren können Unterschiede von unter 1 µm für die genannte Materialkombination erreicht werden. Auf sprödharten Werkstoffen, wie bspw. Saphir, können Oberflächen mit einer Rauhigkeit von Ra = 0,43 nm mittels mechanischer Bearbeitung hergestellt werden.

Abbildung: Rauhigkeit einer polierten Saphiroberfläche

 

 

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