Grundlagen und Prinzipien der Vakuumtechnik

Grundlagen und Prinzipien der Vakuumtechnik
-Vakuum erzeugen, messen und verstehen -mit Experimenten

In Mikroelektronik, Solartechnik, Oberflächen-Beschichtung und Metallurgie laufen viele Fertigungsprozesse unter Vakuum ab. Um diese Fertigungsprozesse sicher beherrschen zu können, sind Kenntnisse über die Grundlagen und Prinzipien der Vakuum-Erzeugung und -Messung unbedingt erforderlich. Bei vielen weiteren Oberflächen-Analyse-Methoden ist Vakuum ebenfalls ein Muss.

Dieses Seminar vermittelt das Basis-Wissen über die Vakuum-Technik, gibt wichtige Rechenvorschriften und Daumenregeln an die Hand.

Inhalt:

- Grundlagen der Vakuum-Technik
- Gas-Menge
- Totaldruck, Partialdruck
- Die wichtigsten Ergebnisse der kinetischen Gas-Theorie
- Gas-Durchsatz (Saugleistung)
- Saugvermögen (mit Experiment)
- Leitwert, Effektives Saugvermögen (mit Experiment)
- Abpump-Zeiten im Grob- und Feinvakuum
- Vakuum-Erzeugung im Grob-, Fein- und Hochvakuum
- Vakuum-Pumpen im Überblick
- Aufbau und Wirkungsweise (mit Experiment)
- Aufbau, Auslegung und Betrieb von Hochvakuum-Pumpständen
- Vakuum-Messung im Grob-, Fein- und Hochvakuum
- Totaldruck-Messgeräte im Überblick
- Aufbau und Wirkungsweise

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