Individuell geformte Optiken für innovative Anwendungen in Hightech-Branchen

Die Trionplas Technologies GmbH wurde 2017 als Spin-off aus dem Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. gegründet und beschäftigt sich der Anwendung neuer Fertigungsverfahren zur Herstellung von Optiken. Gerade individuell geformte Optiken, die sogenannten Freiform-Optiken, lassen sich mit klassischen Bearbeitungsmethoden, z.B. Schleifen und Polieren, nur schwer herstellen. Ganz neue Möglichkeiten für neuartige Optikformen eröffnet das innovative Plasmajet-Verfahren, welches am Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. entwickelt und nun durch die Leipziger Trionplas Technologies GmbH angewendet wird. Es basiert auf dem chemischen Abtrag von Molekülen aus der Oberfläche der Optik durch die lokale Reaktion mit einem ätzenden Gas. Dieses wird durch eine neu entwickelte, extrem kleine Plasmaquelle an Atmosphäre erzeugt und über die Oberfläche geführt. Dank Plasmastrahlen von weniger als 1 mm Breite lässt sich die Optik-Oberfläche gezielt formen und im Nanometer-Bereich bearbeiten.

Die Trionplas Technologies GmbH bietet Herstellung und Korrektur von Optiken mit nahezu beliebiger Form an.

- Freiform-Optiken aus Quarzglas, Silizium, Germanium, ULE
- Laserstrahlformungselemente, Elemente zur Wellenfrontkorrektur
- Kalibrierelemente, Einzeloptiken für Designstudien oder sonstige Präzisionsoptiken
- Genauigkeiten bis zu <20 nm RMS zur mathematischen Sollform
- Korrektur von Optiken

Plasmajet-Technologie zur Optikfertigung

Das in den vergangenen 15 Jahre am Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. entwickelte und kontinuierlich weiteroptimierte Plasmajet-Verfahren als nichtkonventionelle Basistechnologie ist prädestiniert dafür, die Oberflächen komplexer optischer Funktionselemente aus relevanten Materialien wie Quarzglas, Silizium, Siliziumkarbid über subtraktive plasmagestützte Bearbeitungsprozesse zu formen und zu korrigieren. Aufgrund der atomaren Wechselwirkungsmechanismen der hier einzusetzenden Prozesse lassen sich Genauigkeiten im Nanometerbereich sicher und reproduzierbar erreichen. Gleichzeitig ist eine laterale Auflösung bis 0.3 mm realisierbar, was die Korrektur von sog. Midspatial-Strukturen möglich macht. Durch Abtragsraten von bis zu 20 mm³/min lassen sich auch stark gekrümmte Oberflächen mit Abweichungen zur Ausgangsform von mehreren Millimetern erzeugen.

Freiform-Optiken

Wir bieten die Herstellung von individuell geformte Optiken nach Kundenvorgaben in Kleinserie, Großserie oder als Einzelstück. Genauigkeiten bis zu <20 nm RMS zur mathematischen Sollform sind möglich und reproduzierbar herstellbar. In Zusammenarbeit mit dem Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. werden die Optiken mittels Laserprofiler oder Interferometer vermessen und die Messdaten dem Kunden zur Verfügung gestellt.