Luphos Aktivitäten

Stichworte: Hochgenaue, berührungslose Abstandsmesstechnik; Topologiemessung von sphärischen und asphärischen Oberflächen; MWLI-Messtechnik Berührungslose Abstandsmessung mit Nanometer Genauigkeit

Die Luphos GmbH – gegründet 2006 als Spin-Off aus der TU Darmstadt - entwickelt und vertreibt hochgenaue Abstandsmesstechnik und Messgeräte auf der Basis der Mehrwellen­längen­interferometrie (MWLI®). Das berührungslose (optische) Messsystem erlaubt Abstandsmessungen mit einer Genauigkeit von 2nm und findet seine Anwendungen insbesondere im Bereich der Qualitätsprüfung hochgenauer maschineller Fertigungsverfahren. Die Besonderheit des Messverfahrens ist der 1mm große Eindeutigkeitsbereich, der Vermessungen von Flächen mit Stufen, Unterbrechungen oder Verschmutzungen erlaubt. Messbereich und Messabstand liegen hierbei deutlich über 10mm, die zu vermessende Oberfläche kann undurchsichtig oder transparent sein.

Produkte:

LuphoSmart - Flexible Integration präziser Messung in bestehende Systeme

Der kleine Sensorkopf des vollkommen faseroptisch konzipierten Messsystems LuphoSmart lässt sich leicht und flexibel in Mess- oder Produktionsanlagen integrieren. Somit ist ein „upgrade“ bereits bestehender Messmaschinen oder eine Kontrolle der Prozesse während oder nach der Produktion bereits in der Produktionsmaschine möglich. Das Sensorsystem steht als Ein- oder Mehrkopfsystem zur Verfügung. Mit dem Multikopf-System ist die Realisierung von Referenzmessungen zur Kompensation von Achsfehler und /oder Umgebungseinflüssen möglich.

Abb. 1: LuphoSmart Sensorsystem

LuphoScan - Asphärenmessung, schnell und berührungslos

Mit dem Messsystem LuphoScan steht eine flexible und hochgenaue Plattform zur berührungslosen Vermessung von sphärischen und asphärischen Oberflächen zur Verfügung. Die 4-Achs-Geometrie erlaubt eine flexible Vermessung unterschiedlichster Optiken auch mit komplexer Form. Der Wechsel zwischen steilen Flanken und flachen Bereichen stellt für das System kein Problem dar. Die vollständige Referenzierung der Sensorposition während der Messung ermöglicht eine Messung mit einer Genauigkeit von ±50 nm unabhängig von den Toleranzen der scannenden Achsen. Durch die Verwendung des MWLI-Verfahrens ist auch die Vermessung von Linsen mit Stufen, Unterbrechungen oder leichten diffraktiven Strukturen möglich.

Abb 2.: LuphoScan Abb 3.: LuphoScan
Asphärenmesssystem Referenzsystem

Abb. 4: Messung der Abweichung der Abb. 5: Messung eines Objektes mit
Topologie einer asphärischen 50µm-Stufen
Linse

LuphoSpin - Berührungslose Rundheitsmessung

Der große Messbereich der LuphoSmart-Sensorik in Kombination mit der hohen Genauigkeit ermöglicht die Realisierung berührungsloser, hochgenauer Rundheitsmesssysteme. Die LuphoSpin-Technologie erlaubt hierbei die Vermessung der Rundheit von Objekten oder Drehachsen und Spindeln mit großer Abweichung und/oder Exzentrizität. Kanten und Nuten stellen durch den Absolutmessbereich der Sensorik für das Messsystem kein Problem dar. Da die Messung berührungslos durchgeführt wird, ist ein Einfluss der Sensorik auf die Drehbewegung ausgeschlossen. Mit dem LuphoSmart-Mehrkopfsystem lässt sich eine vollständige Charakterisierung luftgelagerter Drehachsen durchführen.

Abb. 6: Rundheitsmessung mit dem LuphoSpin

Abb. 7: Rundheitsmessung in einer Fertigungsmaschine